主動隔振器的應(yīng)用與產(chǎn)生，得益于近年來生化研究的普及，與半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展。高倍顯微鏡的放大倍率的提高，使人們不得不研發(fā)隔振效果更好的主動隔振器來滿足顯微鏡對環(huán)境的要求。

高放大倍數(shù)的原子力顯微鏡（AFM）、掃描隧道顯微鏡（STM），光學(xué)顯微鏡等電鏡可觀察微米或納米級的放大率。因此對隔震器的要求越來越高，主動隔振器（圖一）的應(yīng)用完美解決了顯微鏡對環(huán)境振動的要求。

由于高質(zhì)量成像要求，顯微鏡大多需要裝有高效減震器以足以實(shí)驗(yàn)室或無塵室震動和結(jié)構(gòu)噪音對檢測的影響。

上圖所示，為安裝主動隔振器前后，顯微鏡畫面的對比圖像，安裝前，由于環(huán)境的震動，顯微鏡呈現(xiàn)的圖像有波狀條紋，嚴(yán)重影響了畫面觀測質(zhì)量，安裝后，環(huán)境震動導(dǎo)致的波狀條紋消除，圖像完全清晰了，安裝主動隔振器前后的差別，竟然這么大！

主動隔振器主要應(yīng)用在高精密設(shè)備，如高精度顯微鏡：AFM,、SEM、TEM，光刻機(jī)、曝光機(jī)等半導(dǎo)體檢測設(shè)備，納米試驗(yàn)室儀器，生命科學(xué)研究設(shè)備，精密電子秤，精密測量設(shè)備，精密設(shè)備和精密醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域。如果你的設(shè)備正面臨著震動的干擾，可以來了解一下哦！

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